H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/34 (2006.01) H01J 25/50 (2006.01)
Patent
CA 2202801
A magnetron sputtering apparatus contains an inner magnetic pole, an outer magnetic pole having a polarity opposite to that of the inner magnetic pole and arranged to surround the inner magnetic pole, and a target disposed on at least above the inner magnetic pole and extending therefrom towards the outer magnetic pole. Each of the magnetic poles is of a soft magnetic material divided into plural discrete sections by a substance having a narrow width and a small permeability or by a slit is mounted on a back side of the target between the inner and outer magnetic poles so as to decrease the gradient of a vertical magnetic field at a central portion between the inner and outer magnetic poles yet to increase it at a portion in the vicinity of the magnetic poles and so as to make the distribution of intensity of a horizontal component of the magnetic field in an M-shaped form between the magnetic poles. The number of the sections of the soft magnetic material and the width of the substance or the slit are set in accordance with magnetic characteristics and a thickness of the target.
L'invention est un appareil de pulvérisation à magnétron contenant un pôle magnétique interne, un pôle magnétique externe de polarité opposée à celle du pôle magnétique interne et disposé de façon à entourer ce dernier, et une cible placée au-dessus du pôle magnétique interne et s'étendant à l'extérieur vers le pôle magnétique externe. Chacun des pôles magnétiques est fait d'un matériau magnétique doux divisé en plusieurs sections par un corps de largeur étroite ayant une faible perméabilité, ou par une fente, et est monté sur la face arrière de la cible entre les pôles magnétiques interne et externe afin de réduire le gradient du champ magnétique vertical dans l'espace entre les pôles magnétiques interne et externe, mais pour l'augmenter au voisinage des pôles magnétiques et pour distribuer en forme de M l'intensité de la composante horizontale du champ magnétique entre les pôles magnétiques. Le nombre de sections du matériau magnétique doux et la largeur du corps ou de la fente sont déterminés d'après les caractéristiques magnétiques et l'épaisseur de la cible.
Arita Yoji
Mitsubishi Chemical Corporation
Sim & Mcburney
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1683681