G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 27/18 (2006.01) G02B 13/08 (2006.01) G02B 13/26 (2006.01) G02B 15/14 (2006.01) G02B 17/08 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) H01L 21/77 (2006.01)
Patent
CA 2215750
Magnification correction for small field scanning of large blanks is provided by adding magnification adjusting elements (lenses 712, 714, 722, 724) to a double pass Wynne-Dyson lens (770) or other type of one-to-one projection lens. The magnification adjusting optical elements include two pairs (710, 720) of low power lenses, one associated with each of the input and output prisms (731, 732) of a Wynne-Dyson lens. Movement of the magnification adjusting optics provides positive or negative magnification as needed to correct for any expansion or compaction of the blank (160) relative to the reticle (120) and hence maintain alignment. Further magnification correction is provided by a small velocity relative movement between reticle (120) and blank (160) by means of a secondary stage in the scan direction. This corrects for any alignment error in the scan direction and may be used independently of the optical correction technique with any type of projection lens.
La correction de grossissement pour balayage de faible champ d'ébauches de grandes dimensions s'effectue en ajoutant des éléments de réglage de grossissement (lentilles 712, 714, 722, 724) à une lentille de Wynne-Dyson à double passe (770) ou tout autre type de lentille de projection un-à-un. Les éléments optiques de réglage de grossissement comporte deux paires (710, 720) de lentilles de faible puissance, l'une associée à chacun des prismes d'entrée et de sortie (731, 732) d'une lentille de Wynne-Dyson. Le mouvement du dispositif optique de réglage de grossissement assure le grossissement positif ou négatif nécessaire à la correction de toute expansion ou contraction de l'ébauche (160) par rapport au réticule (120) et, de ce fait, maintient l'alignement. Une autre correction de grossissement est assurée par une mouvement relatif de faible vitesse entre le réticule (120) et l'ébauche (160) grâce à un deuxième niveau dans le sens du balayage. Ce système corrige toute erreur d'alignement dans le sens du balayage et peut-être utilisé indépendamment de la technique de correction optique avec n'importe quel type de lentille de projection.
Allen Paul C.
Voisin Ronald D.
Etec Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1687324