H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
345/9
H01L 21/84 (2006.01) G02F 1/1368 (2006.01) H01L 27/13 (2006.01) H01L 29/78 (2006.01) H01L 29/786 (2006.01)
Patent
CA 1224262
PRECIS DE LA DIVULGATION Procédé de fabrication de circuits électroniques à base de transistors en couches minces et de condensateurs. Selon l'invention, ce procédé comprend les opérations suivantes: dépôt sur un substrat isolant d'une couche d'un premier matériau conducteur transparent; première photogravure appliquée à cette première couche pour constituer des pavés formant une des armatures des futurs condensateurs, ainsi que des sources et des drains pour les futurs transistors; dépôt d'une couche de silicium amorphe hydrogéné; dépôt d'une couche isolante; dépôt d'une couche d'un second matériau conducteur; seconde photogravure appliquée à l'ensemble couche de silicium-couche isolante-couche conductrice, pour délimiter les grilles de commande des transistors. Application à la réalisation de circuits de commande d'écrans d'affichage ou de registres BBD.
436727
Coissard Pierre
Morin Francois
Richard Joseph
Coissard Pierre
Goudreau Gage Dubuc
Morin Francois
Richard Joseph
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