Mass spectrometer

Details Mass spectrometer Mass spectrometer

H - Electricity

01

J

H01J 49/00 (2006.01) H01J 49/40 (2006.01) H01J 49/48 (2006.01)

Patent

CA 2678460

The mass spectrometer is characterized in that it has a completely planar design, the components are disposed on a flat non-conductive substrate, it comprises an energy filter (k) for the ions that is configured as a sector, particularly a 90º sector, the ionization chamber (b), the electrodes (g, h, j) for accelerating the electrons and ions, the detector (1) for the ions and the energy filter (k) are produced by means of photolithography and etching of a small semiconductor plate doped on the substrate and the wiring, and the above parts are covered by a second flat non-conductive substrate.

Le spectromètre de masse se caractérise en ce que ce spectromètre de masse est complètement plan; les composants sont disposés sur un substrat plan non conducteur; ledit spectromètre de masse comporte un filtre d'énergie (k) pour les ions, exécuté sous forme de secteur, en particulier sous forme de secteur à angle de 90°; la chambre d'ionisation (b), les électrodes (g, h, j) pour l'accélération des électrons et des ions, le détecteur (1) pour les ions et le filtre d'énergie (k) sont réalisés par photolithographie et par gravure d'une plaquette de semi-conducteur dopée, appliquée sur le substrat et le câblage, et les pièces susmentionnées sont recouvertes d'un second substrat plan non conducteur.

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