Material fabrication

Details Material fabrication Material fabrication

C - Chemistry, Metallurgy

23

C

C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01)

Patent

CA 2359822

The present invention provides: (i) a method of and apparatus for depositing material, preferably a film, on a substrate, the method comprising the steps of: providing a substrate; heating the substrate (5); generating an aerosol comprising droplets of a material solution; providing a nozzle unit (11) for delivering the aerosol to the substrate, the nozzle unit including at least one outlet (18) through which a directed flow of the aerosol is delivered and at least one electrode (21); charging the aerosol droplets with a positive or negative charge; providing a flow of the aerosol through the nozzle unit so as to deliver a directed flow of the aerosol from the at least one outlet; and generating an electric field between the substrate and the at least one electrode such that the directed aerosol flow is attracted towards the substrate; and (ii) a method of and apparatus for fabricating a powder, preferably an ultrafine powder, the method comprising the above steps but where the aerosol droplets react homogeneously in the gas phase to form a powder.

Cette invention a trait, (i), à une méthode ainsi qu'à l'appareil correspondant permettant le dépôt d'un matériau, d'un film, de préférence, sur un substrat, laquelle méthode consiste à former un substrat, à le chauffer (5), à former un aérosol contenant des gouttelettes du matériau en solution, à utiliser une buse (11) pour déposer ce matériau sur le substrat, cette buse comportant au moins un orifice de sortie (18), par lequel le flux de solution est dirigé sur le substrat, ainsi qu'une électrode (21). La méthode consiste ensuite à charger les gouttelettes de l'aérosol, négativement ou positivement, et à produire un champ électrique entre le substrat et l'électrode susmentionnée, celle-ci au moins, de façon que le flux d'aérosol soit attiré par le substrat. L'invention concerne également (ii), une méthode ainsi que l'appareil correspondant permettant de produire une poudre, de préférence une poudre ultrafine, laquelle méthode comporte les opérations précitées auxquelles s'ajoute une étape lors de laquelle les gouttelettes d'aérosol réagissent de façon homogène en phase gazeuse pour former une poudre.

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