Material measurement system for obtaining coincident...

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 21/17 (2006.01) D21F 1/08 (2006.01) D21F 7/06 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) G01N 21/27 (2006.01) G01N 21/59 (2006.01) G01N 21/86 (2006.01) G05B 13/02 (2006.01) G07C 3/14 (2006.01)

Patent

CA 2705864

A material measurement system (500) includes a THz generator including at least one laser source (111) for emitting optical pulses, the optical pulses coupled to a THz emitter (51) operable for emitting pulsed THz radiation at a sample location on material (14) while being processed by a manufacturing system (100). A receiver (52) is operable to receive the optical pulses and to detect reflected or transmitted THz radiation from a sample location on the material (14) synchronously with the optical pulses and provide electrical detection signals. Synchronizing optics (112, 113, 114) is operable to receive the optical pulses from said laser and provide the optical pulses to both the receiver (52) and the THz emitter (51). A controller (25) includes at least one processor (87) for receiving the electrical detection signals and providing a processed electrical detection signal, and an analyzer (88) operable to determine at least one, and generally a plurality of properties of the material from the processed electrical detection signal.

L'invention concerne un système de mesure de matériau (500) qui inclut un générateur de THz incluant au moins une source laser (111) permettant d'émettre des impulsions optiques, les impulsions optiques étant couplées à l'émetteur de THz (51) qui peut fonctionner pour émettre des rayonnements en THz pulsés sur un emplacement échantillon sur le matériau (14) tout en étant traité par un système de fabrication (100). Un récepteur (52) peut fonctionner pour recevoir les impulsions optiques et pour détecter des rayonnements en THz réfléchis ou émis à partir d'un emplacement échantillon sur le matériau (14) de manière synchrone avec les impulsions optiques, et pour procurer des signaux électriques de détection. Les systèmes optiques de synchronisation (112, 113, 114) peuvent fonctionner pour recevoir les impulsions optiques provenant dudit laser et pour procurer les impulsions optiques à la fois au récepteur (52) et à l'émetteur de THz (51). Une commande (25) inclut au moins un processeur (87) permettant de recevoir les signaux électriques de détection et d'élaborer un signal électrique de détection traité, ainsi qu'un analyseur (88) pouvant fonctionner pour déterminer au moins une propriété du matériau, et en général une pluralité, à partir du signal électrique de détection traité.

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