Mechanochemical sensor

Details Mechanochemical sensor Mechanochemical sensor

G - Physics

01

N

G01N 33/53 (2006.01) G01L 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2534072

A mechanochmical type sensor characterized by comprising a micro mechanical structure having a functional thin film formed on at least a part of its surface, a support means supporting the micro mechanical structure, and a detection means detecting a change in the mechanical physical properties of the micro mechanical structure. The use of the micro mechanical structure having the functional thin film integrated therewith in advance increases the strength of conjugation between the functional thin film and the micro structure, so that a high detection signal can be obtained, making it possible to improve the measuring accuracy and measuring sensitivity.

L'invention concerne un capteur de type mécano-chimique caractérisé en ce qu'il comprend une structure micromécanique pourvue d'un film mince fonctionnel formé sur une partie au moins de sa surface, une unité de support supportant la structure micromécanique, ainsi qu'une unité de détection servant à détecter un changement de propriétés mécano-physiques de la structure micromécanique. L'utilisation d'une structure micromécanique pourvue d'un film mince fonctionnel intégré par avance dans celle-ci permet d'augmenter la résistance de combinaison entre le film mince fonctionnel et la microstructure. On obtient ainsi un signal de détection élevé, d'où une précision de mesure et une sensibilité de mesure accrues.

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