Mems fluid sensor

Details Mems fluid sensor Mems fluid sensor

B - Operations, Transporting

41

J

B41J 2/01 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G01F 23/22 (2006.01) G01F 23/24 (2006.01)

Patent

CA 2602714

A fluid sensor for detecting fluid in a chamber, has a MEMS sensing element of conductive material with a resistance that is a function of temperature, and electrical contacts for connection to an electrical power source for heating the sensing element with an electrical signal, so that control circuitry can measure the current passing through the sensing element during heating of the sensing element; and determine the temperature of the sensing element from the known applied voltage, the measured current and the known relationship between the current, resistance and temperature. As the temperature of the element will be greater if it is in the presence of gas rather than liquid, the sensor determines if there is liquid or gas in the chamber. This is particularly useful to detect if the chambers of an inkjet printhead are primed with ink.

L'invention concerne un détecteur de fluide destiné à détecter un fluide dans une chambre, lequel comporte un élément de détection de type MEMS constitué d'un matériau conducteur présentant une résistance qui est fonction de la température et des contacts électriques en vue d'une connexion à une source d'énergie électrique destinée à chauffer l'élément de détection avec un signal électrique de sorte que les circuits de commande puissent mesurer le courant passant au travers de l'élément de détection pendant le chauffage de l'élément de détection, et puissent déterminer la température de l'élément de détection à partir de la tension connue appliquée, du courant mesuré et de la relation connue entre le courant, la résistance et la température. La température de l'élément augmentant, si celui-ci est en présence d'un gaz plutôt que d'un liquide, le détecteur détermine s'il y a du liquide ou du gaz dans la chambre. Ceci est particulièrement utile pour détecter si les chambres d'une tête d'impression à jet d'encre sont amorcées avec de l'encre.

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