G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01) G01P 9/04 (2006.01)
Patent
CA 2753455
The invention relates to a MEMS gyrosco-pe for detecting rotational motions about an x-, y-, and/or z-axis, in particular a 3-D sensor, containing a substrate, several, at least two, preferably four, drive masses (2) that are movable radially with respect to a center and drive ele-ments (7) for the oscillating vibration of the drive masses (2) in order to generate Coriolis forces on the drive masses (2) in the event of rotation of the substrate about the x-, y-, and/or z-axis. The oscillating drive masses (2) are connec-ted to at least one further non-oscillating sensor mass (3) that however can be rotated about the x-, y-, and/or z-axis together with the oscillating drive masses (2) on the sub-strate. Sensor elements (9, 10) are used to detect deflecti-ons of the sensor mass (3) and/or drive masses (2) in relati-on to the substrate due to the generated Coriolis forces. At least two, preferably four anchors (5) are used to rotatably fasten the sensor mass (3) to the substrate by means of springs (4).
La présente invention concerne un gyroscope micro-électromécanique permettant de déterminer des mouvements de rotation autour d'un axe x, y ou z, et plus particulièrement un détecteur tridimensionnel. Ce gyroscope comporte un substrat, des masses d'entraînement (2) au nombre au moins de deux, de préférence au nombre de quatre, et des éléments d'entraînements (7) servant à mettre en oscillation les masses d'entraînement (2), de façon que la rotation du substrat produise sur les masses d'entraînement (2) des forces de Coriolis autour des axes x, y et/ou z. Les masses d'entraînement oscillantes (2) sont reliées à une autre masse de détection (3), qui n'est pas oscillante, mais qui est en rotation sur le substrat autour des axes x, y et/ou z solidairement avec les masses d'entraînement oscillantes (2). Les éléments de détection (9, 10) permettent de détecter les écarts que les forces de Coriolis font effectuer à la masse de détection (3) et/ou aux masses d'entraînement (2) par rapport au substrat. Des éléments d'ancrage (5), qui sont au moins au nombre deux, mais de préférence au nombre de quatre, permettent une fixation rotative de la masse de détection (3) sur le substrat au moyen de ressorts (3).
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l. S.r.l./llp
Sensordynamics Ag
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1551621