G - Physics – 01 – C
Patent
G - Physics
01
C
G01C 19/56 (2006.01)
Patent
CA 2483710
A microelectromechanical (MEMS) gyroscope has one or more proof masses mechanically coupled to a substrate by springs. A motor force drives the proof masses at their resonant frequency in one direction, 180 degrees out of phase with each other in the case of a dual proof mass gyroscope. Sense electrodes sense motion of the proof masses in response to a Coriolis force. The motion caused by the Coriolis force is perpendicular to the motion caused by the motor force. An AC pump voltage at twice the motor frequency is applied to the sense electrodes to provide parametric amplification of the Coriolis force. The AC pump voltage alters the mechanical and electrical gain of the gyroscope.
L'invention concerne un gyroscope microélectromécanique (MEMS) présentant au moins une masse d'épreuve mécaniquement reliée à un substrat au moyen de ressorts. Une force motrice actionne les masses d'épreuve à leur fréquence de résonance dans un seul sens, à 180 degrés en dehors de la phase les unes par rapport aux autres dans le cadre d'un gyroscope à masse d'épreuve double. Des électrodes de détection détectent le mouvement des masses d'épreuve en réponse à la force de Coriolis. Le mouvement causé par la force de Coriolis est perpendiculaire au mouvement provoqué par la force motrice. Une tension de pompage CA qui fait le double de la fréquence motrice est appliquée sur les électrodes de détection afin de fournir une amplification paramétrique de la force de Coriolis. La tension de pompage CA modifie le gain mécanique et électrique du gyroscope.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Honeywell International Inc.
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1986597