H - Electricity – 04 – Q
Patent
H - Electricity
04
Q
H04Q 3/52 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01)
Patent
CA 2460765
An optical micro-electro-mechanical system (MEMS) switch is disclosed. In a preferred embodiment the optical MEMS switch is used as an M × N optical signal switching system. The optical MEMS switch comprises a plurality of optical waveguides formed on a cantilever beam platform for switching optical states wherein the state of the optical switch is changed by a system of drive and latch actuators. The optical MEMS device utilizes a latching mechanism in association with a thermal drive actuator for aligning the cantilever beam platform. In use the optical MEMS device may be integrated with other optical components to form planar light circuits (PLCs). When switches and PLCs are integrated together on a silicon chip, compact higher functionality devices, such as Reconfigurable Optical Add- Drop Multiplexers (ROADMs), may be fabricated.
La présente description concerne un commutateur optique pour système microélectromécanique (MEMS). Dans un mode de réalisation préférentiel, le commutateur optique pour MEMS est utilisé en temps que système de commutation de signal optique M . fois N. Le commutateur optique pour MEMS comprend une multitude de guides d'ondes optiques formés sur une plate- forme de poutre en porte-à-faux pour la commutation des états optiques, où l'état du commutateur optique est modifié par un système d'actionneurs d'entraînement et de verrouillage. Le dispositif optique pour MEMS met en oeuvre un mécanisme de verrouillage en association avec un actionneur d'entraînement thermique pour aligner la plate-forme de la poutre en porte-à-faux. Lors de l'utilisation, le dispositif optique pour MEMS peut être intégré à d'autres composants optiques pour former des circuits optiques planaires (PLC). Lorsque des commutateurs et des circuits PLC sont intégrés ensemble sur une puce de silicium, il est possible de fabriquer des dispositifs compacts à fonctionnalité supérieure, tels que des multiplexeurs d'insertion-extraction optique reconfigurables (ROADM).
Feinberg Kathleen A.
German Kristine A.
Gulvin Peter M.
Kubby Joel A.
Lin Pinyen
Sim & Mcburney
Xerox Corporation
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1531008