Mems optical switch and method of manufacture

G - Physics – 02 – B

Patent

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Details

G02B 6/35 (2006.01)

Patent

CA 2397238

An optical switch (20) on a planar optical circuit substrate (30) includes a cantilevered arm (40) having a control element (32) selectively movable into a waveguide slot (12) of the substrate for switching optical signals carried by the waveguide (24). The arm (40) can be actuated by thermal or Piezoelectric actuators to deflect between a rest position allowing a signal to continue along waveguide (24) and a second position with the control element (32) in slot (12) for blocking or changing direction of the signal. A second arm may be provided which moves laterally and is actuated in sequence with cantilevered arm (40) for overlying and latching cantilevered arm (40) in the second position, thus the switch can remain in an active state without further application of control signals. Arrays of MEMS switches formed on a single wafer by etching are bonded to arrays of waveguides to provide multiple switch modules.

La présente invention concerne un commutateur optique (20) se trouvant sur un substrat à circuit optique plan (30), comprenant un bras en porte-à-faux (40) présentant un élément de commande (32) qui peut se déplacer de manière sélective dans une fente à guide d'onde (12) du substrat afin d'effectuer la commutation de signaux optiques portés par le guide d'onde (24). Le bras (40) peut être actionné par des actionneurs thermiques ou piézo-électriques afin de réaliser une déviation entre une position de repos permettant à un signal de poursuivre son chemin le long du guide d'onde (24), et une seconde position dans laquelle l'élément de commande (32) se trouve dans la fente (12) afin de bloquer ou de changer la direction du signal. Le commutateur optique peut comporter un second bras qui se déplace latéralement et est actionné en série avec le bras en porte-à-faux (40), servant à recouvrir et à bloquer le bras en porte-à-faux (40) dans la seconde position. Le commutateur peut ainsi rester dans un état inactif sans nécessiter l'application d'autres signaux de commande. Des réseaux de commutateurs à système micro électromécanique (MEMS) formés par gravure sur une seule plaque, sont reliés à des réseaux de guides d'onde afin d'obtenir des modules à commutateurs multiples.

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