Mems waveguide shuttle optical latching switch

Details Mems waveguide shuttle optical latching switch Mems waveguide shuttle optical latching switch

H - Electricity

04

Q

H04Q 3/52 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01)

Patent

CA 2461327

An optical micro-electro-mechanical system (MEMS) switch is disclosed. In a preferred embodiment the optical MEMS switch is used as an M x N optical signal switching system. The optical MEMS switch comprises a plurality of optical waveguides formed on a shuttle for switching optical states wherein the state of the optical switch is changed by a system of drive and latch actuators. The optical MEMS switch utilizes a latching mechanism in association with a thermal drive actuator for aligning the waveguide shuttle. In use the optical MEMS switch may be integrated with other optical components to form planar light circuits (PLCs). When switches and PLCs are integrated together on a silicon chip, compact higher functionality devices, such as Reconfigurable Optical Add-Drop Multiplexers (ROADMs), may be fabricated.

Divulgation d'un commutateur optique pour système micro-électro-mécanique (MEMS). Dans un mode de réalisation préféré, le commutateur optique MEMS est utilisé comme un système de commutation de signal optique M x N. Le commutateur optique MEMS comprend une pluralité de guides d'ondes optiques formés sur une navette pour commuter des états optiques, l'état du commutateur optique étant modifié par un système d'actionneurs d'entraînement et de verrouillage. Le commutateur optique MEMS utilise un mécanisme de verrouillage en association avec un actionneur à commande thermique pour aligner la navette de guide d'ondes. Lors de l'utilisation, le commutateur optique MEMS peut être intégré avec d'autres composants optiques pour former des circuits de lumière planaire (PLC). Lorsque les commutateurs et les PLC sont intégrés ensemble sur une puce de silicium, on peut fabriquer des dispositifs compacts à fonctionnalité supérieure, tels que des multiplexeurs d'insertion-extraction optique reconfigurable (ROADM).

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