Method and apparatus for controlling film deposition

Details Method and apparatus for controlling film deposition Method and apparatus for controlling film deposition

B - Operations, Transporting

41

J

B41J 2/01 (2006.01) H01L 33/00 (2010.01) H05B 33/00 (2006.01)

Patent

CA 2690392

The disclosure relates to a method for depositing films on a substrate which may form part of an LED or other types of display. In one embodiment, the disclosure relates to an apparatus for depositing ink on a substrate. The apparatus includes a chamber for receiving ink; a discharge nozzle having an inlet port and an outlet port, the discharge nozzle receiving a quantity of ink from the chamber at the inlet port and dispensing the quantity of ink from the outlet port; and a dispenser for metering the quantity of ink from the chamber to the inlet port of the discharge nozzle; wherein the chamber receives ink in liquid form having a plurality of suspended particles and the quantity of ink is pulsatingly metered from the chamber to the discharge nozzle; and the discharge nozzle evaporates the carrier liquid and deposits the solid particles on the substrate.

L'invention concerne un procédé pour déposer des films sur un substrat qui peut faire partie d'une DEL ou d'autres types d'affichage. Dans un mode de réalisation, l'invention concerne un appareil pour déposer de l'encre sur un substrat. L'appareil comprend une chambre pour recevoir de l'encre ; une buse de décharge ayant un orifice d'admission et un orifice de sortie, la buse de décharge recevant une quantité d'encre depuis la chambre au niveau de l'orifice d'admission et distribuant la quantité d'encre depuis l'orifice de sortie ; et un distributeur pour doser la quantité d'encre de la chambre à l'orifice d'admission de la buse de décharge. La chambre reçoit l'encre sous une forme liquide ayant une pluralité de particules suspendues et la quantité d'encre est dosée par pulsation de la chambre à la buse de décharge ; et la buse de décharge évapore le liquide porteur et dépose les particules solides sur le substrat.

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