H - Electricity – 05 – B
Patent
H - Electricity
05
B
H05B 6/00 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01) C25B 13/00 (2006.01) H01J 37/32 (2006.01) H05B 7/18 (2006.01) H05F 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2375847
Disclosed herein is a method and apparatus for forming polycrystalline particles by gas phase condensation employing arc plasma evaporation. The disclosed method and apparatus may be employed to form polycrystalline particles from high-melting temperature, low evaporation pressure materials such as transition metals. Arc discharge is sustained by the evaporated species, therefor, there is no need for plasma sustaining gas. Evaporation may be sustained from either the cathode or anode. A reaction gas may be provided to form products with the evaporated species.
L'invention se rapporte à un procédé et à un appareil de fabrication de particules polycristallines par condensation en phase gazeuse au moyen d'une évaporation de plasma à l'arc. Ce procédé et cet appareil peuvent être mis en oeuvre dans le but de former des particules polycristallines à partir de matières à faible pression d'évaporation et à température de fusion élevée telles que des métaux de transition. Une décharge d'arc est entretenue par les espèces évaporées et de ce fait, il n'est pas nécessaire d'utiliser un gaz d'entretien du plasma. L'évaporation peut concerner soit la cathode soit l'anode. Il est possible d'utiliser un gaz réactionnel pour former des produits avec les espèces évaporées.
Sapru Krishna
Tan Zhaosheng
Energy Conversion Devices Inc.
Macrae & Co.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1469131