C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/509 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01)
Patent
CA 2191456
Low temperature deposition of CVD and PECVD films utilizes a gas-dispersing showerhead (36) position within one inch of a rotating substrate. The showerhead is positioned a suitable distance below a gas-dispensing ring (50, 52) such a steady state flow of gas develop, between the ring and showerhead. A cylindrical structure extends between the gas-dispersing ring and a showerhead to contain the gas over the showerhead yielding a small boundary layer over the substrate. The showerhead is biased with RF energy such that it acts as an electrode to incite a plasma proximate with the substrate for PECVD. The cylinder (60) is isolated from the showerhead such as by a quartz insulator ring (62) to prevent ignition of a plasma within the cylinder, or alternatively, the cylinder is fabricated of quartz material. The RF showerhead utilizes small gas- dispersing holes (54) to further prevent ignition of a plasma within the cylinder.
Procédé de déposition à basse température de films de CVD et de PECVD à l'aide d'une pomme d'arrosoir (36) distribuant un gaz à moins d'un pouce d'un substrat en rotation. La pomme de douche est placée sous un anneau distributeur de gaz (50, 52) à la distance requise pour permettre un écoulement régulier du gaz entre l'anneau et la pomme. Une structure cylindrique (60) séparant l'anneau de la pomme confine le gaz au dessus de la pomme ce qui produit une petite couche limite sur le substrat. La pomme, polarisée par des ondes HF joue un rôle d'électrode incitant le plasma à rester à proximité du substrat en vue de la PECVD. Le cylindre (60) est soit isolé de la pomme p. ex. par un anneau isolant (62) de quartz qui empêche l'inflammation du quartz à l'intérieur, soit fait lui-même de quartz. Pour réduire encore plus les risques d'inflammation du gaz à l'intérieur du cylindre, les trous (54) pratiqués dans la pomme sont de très petites dimensions.
Arora Rikhit
Foster Robert F.
Hillman Joseph T.
Gowling Lafleur Henderson Llp
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
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