Method and apparatus for making an organic thin film

Details Method and apparatus for making an organic thin film Method and apparatus for making an organic thin film

C - Chemistry, Metallurgy

23

C

C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/12 (2006.01)

Patent

CA 2541524

A method for coating a thin film of a non-polymeric compound on a substrate by providing a mixture of the non-polymeric compound and a fluid carrier. This mixture (1) is then pumped into the interior of a heated evaporation box (7) having an internal temperature sufficient to convert substantially all of the non-polymeric compound and fluid carrier to a gaseous form. The non-polymeric compound and fluid carrier are then removed from the evaporation box via exit slit in the evaporation box. Adjacent to the exit slit (8), and maintained in a vacuum, is a substrate upon which the non-polymeric compound condenses. The substrate (10) is in motion, for example on a web roller, thereby allowing a continuous coating of the non-polymeric compound to be applied to the substrate.

La présente invention concerne un procédé permettant de déposer une pellicule mince d'un composé non polymère sur un substrat au moyen d'un mélange constitué du composé non polymère et d'un excipient fluide. Le mélange susmentionné est ensuite pompé à l'intérieur d'une enceinte d'évaporation chauffée présentant une température interne suffisante pour transformer essentiellement l'ensemble du mélange constitué du composé non polymère et de l'excipient fluide en une forme gazeuse. Le composé non polymère et l'excipient fluide sont ensuite retirés de l'enceinte d'évaporation par l'intermédiaire d'une fente d'évacuation ménagée dans l'enceinte d'évaporation. Un substrat qui est placé à côté de la fente d'évacuation et qui est maintenu sous vide permet la condensation du composé non polymère. Le substrat est déplacé, par exemple sur un rouleau à bande, ce qui permet de déposer en continu le composé non polymère sur le substrat.

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