Method and apparatus for manufacturing silicon ingot

Details Method and apparatus for manufacturing silicon ingot Method and apparatus for manufacturing silicon ingot

C - Chemistry, Metallurgy

30

B

C30B 29/06 (2006.01) H01L 31/04 (2006.01)

Patent

CA 2681353

[PROBLEMS] To provide novel method and apparatus for manufacturing a silicon ingot, by which the number of manufacturing steps can be reduced and even required power can be reduced. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A silicon ingot manufacturing method includes a step of manufacturing an alloy melt in a crucible by heating and melting an element and metal silicon. The element exhibits eutectic reaction with silicon and has a eutectic point lower than that of silicon when made into a silicon alloy. The method also includes a step of performing low-temperature solidification refining of silicon to the alloy melt by using eutectic reaction, and generating a silicon ingot composed of the alloy melt by employing a pulling method.

L'invention concerne un nouveau procédé et un nouvel appareil permettant de fabriquer un lingot de silicium, dont le nombre des étapes de fabrication peut être réduit et la même puissance requise peut être réduite. Le procédé de fabrication d'un lingot de silicium proposé comprend une étape de fabrication d'un alliage fondu dans un creuset en chauffant et en fondant un élément et le silicium métallique. L'élément produit une réaction eutectique avec le silicium et a un point eutectique inférieur à celui du silicium lorsqu'il est fabriqué dans un alliage de silicium. Le procédé comprend également une étape consistant à réaliser un raffinage par solidification à basse température du silicium pour l'alliage fondu en utilisant la réaction eutectique, et à générer un lingot de silicium composé de l'alliage fondu en employant un procédé de traction.

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