Method and apparatus for plasma mass analysis with reduced...

H - Electricity – 01 – J

Patent

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H01J 49/26 (2006.01)

Patent

CA 2204523

A method of analyzing an analyte contained in a plasma, in inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS). A sample of the plasma is drawn through an orifice in a sampler, then skimmed in a skimmer orifice, and the skimmed sample is directed at supersonic velocity onto a blunt reducer having a small orifice therein, forming a shock wave on the reducer. Gas in the shock wave is sampled through an offset aperture in the reducer into a vacuum chamber containing ion optics and a mass spectrometer. This reduces space charge effects, thus reducing mass bias and also reducing the mass dependency of matrix effects. Since the region between the skimmer and the reducer can operate at about 0.1 Torr, which is the same pressure as that produced by the roughing pump which backs the high vacuum pump for the vacuum chamber, a single common pump can be used for both purposes, thus reducing the hardware needed. In a simplified version, the skimmer can be replaced by a small beam blocking finger which extends across a line of sight between the sampler and reducer orifices and occludes the reducer orifice from the sampler orifice.

L'invention concerne un procédé permettant d'analyser un analyte contenu dans un plasma, par spectrométrie de masse avec plasma inductif. Un échantillon du plasma est aspiré par un orifice dans un échantillonneur, puis lissé dans un orifice de lisseur, et dirigé, à une vitesse supersonique, vers un réducteur tronqué présentant un petit orifice intérieur, formant une onde de choc sur ledit réducteur. Le gaz de l'onde de choc est échantillonné à travers une ouverture décalée du réducteur pour entrer dans une chambre à vide contenant un dispositif optique à ions et un spectromètre de masse. Cela réduit les effets de charge d'espace et, par voie de conséquence, la polarisation de masse et également la dépendance de masse d'effets matriciels. Etant donné que la région comprise entre le lisseur et le réducteur peut fonctionner à environ 0,1 Torr, c'est-à-dire à la même pression que celle produite par la pompe à prévidage qui seconde la pompe à vide poussé pour faire le vide dans la chambre à vide, une seule pompe commune peut être utilisée pour produire le même effet, ce qui réduit le matériel nécessaire. Dans une version simplifiée, le lisseur peut être remplacé par un petit doigt bloquant les faisceaux, qui s'étend à travers une ligne de collimation entre l'orifice de l'échantillonneur et l'orifice du réducteur et ferme l'orifice du réducteur par rapport à l'orifice de l'échantillonneur.

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