B - Operations – Transporting – 01 – D
Patent
B - Operations, Transporting
01
D
B01D 21/00 (2006.01) B01D 21/02 (2006.01) B01D 21/26 (2006.01) C02F 1/38 (2006.01) C02F 1/46 (2006.01) C02F 1/463 (2006.01) C02F 1/58 (2006.01) C02F 9/00 (2006.01) C02F 1/20 (2006.01) C02F 1/32 (2006.01) C02F 1/469 (2006.01) C02F 1/66 (2006.01)
Patent
CA 2292755
Abrasive components and water are recovered from an aqueous chemical mechanical slurry used for planarization of semiconductor materials. The slurry effluent is preferably brought to a neutral pH, and cooled to a temperature between about 0 ~C and about 15 ~C. An electrical potential can be applied to the slurry effluent to facilitate agglomeration and separation of particles of abrasive material in the slurry effluent. In one embodiment, the slurry effluent is introduced into a process chamber at ambient temperature and pressure, and supernatant liquid separated from the process chamber is then subjected to a reduction of pressure in a vacuum chamber to cause gas entrapped in the supernatant liquid to bubble to the surface of the supernatant liquid for further separation and collection of water and abrasive particles from the slurry effluent. In another embodiment, slurry effluent is filtered through one or more self-cleaning reversible gross particle filter assemblies.
La présente invention permet de récupérer les composants abrasifs et l'eau d'une suspension mécano-chimique aqueuse utilisée pour le polissage de matériaux semiconducteurs. On amène de préférence l'effluent de suspension à un pH neutre, et on le refroidit à une température comprise entre environ 0 ·C et environ 15 ·C. On peut appliquer un potentiel électrique à l'effluent de suspension afin de faciliter l'agglomération et la séparation des particules de matière abrasive dans l'effluent de suspension. Dans un mode de réalisation, on introduit l'effluent de suspension dans une chambre de traitement à une température et une pression ambiantes, et le liquide surnageant séparé de la chambre de traitement est alors soumis à une réduction de pression dans une chambre à vide de manière que le gaz piégé dans le liquide surnageant barbote jusqu'à la surface dudit liquide et que l'on peut séparer et recueillir l'eau et les particules abrasives de l'effluent de suspension. Dans un autre mode de réalisation, on filtre l'effluent de suspension à travers un ou plusieurs ensembles de filtres réversibles auto-nettoyants pour grosses particules.
Corlett Gary L.
Roberson Glenn A. Jr.
Lucid Treatment Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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