G - Physics – 01 – V
Patent
G - Physics
01
V
G01V 1/38 (2006.01) G01H 9/00 (2006.01) G01V 1/20 (2006.01)
Patent
CA 2575951
A method of studying a surface using an interferometer, in which there is relative motion between the surface and the interferometer, the motion having a total velocity Vtot which includes a transversal or traversing component Vt and a longitudinal component V1. The method comprises: directing an object beam of coherent light to a measurement position at the surface, whereby there is relative motion between the surface and the measurement position; arranging an array of detectors on the interferometer in a lime extending generally in the transversal direction, the detectors being arranged to detect light rays with different angular directions, representing different sensitivity directions; producing a reference beam of coherent light which is coherent with the abject beam; combining the reference beam with the reflected object beam from the surface to produce a cross interference in the speckle pattern providing information about the relative motion of the surface and the interferometer; detecting the speckle pattern and the cross interference pattern with the detectors; determining which detector in the array has zero or minimum sensitivity to the total velocity Vtot of the motion, thereby identifying the detector with a sensitivity direction line that is normal to Vtot; monitoring the temporal change in which of the detectors has zero or minimum sensitivity, thereby ascertaining the change in direction of Vtot over time, brought about by changes in V1; and determining temporal changes in V1.
L'invention concerne un procédé d'analyse d'une surface au moyen d'un interféromètre, un mouvement relatif créé entre la surface et l'interféromètre présentant une vitesse totale Vtot composé d'un élément transversal ou traversant Vt et d'un élément longitudinal V1. Le procédé consiste à: diriger un faisceau objet d'une lumière cohérente sur une position de mesure de ladite surface, un mouvement relatif existant entre la surface et la position de mesure; disposer un réseau de détecteurs équipant l'interféromètre sur une ligne s'étendant généralement dans le sens transversal, les détecteurs étant configurés pour détecter des rayons lumineux dans des directions angulaires différentes représentant différentes directions de sensibilité; produire un faisceau de référence d'une lumière cohérente compatible avec le faisceau objet; combiner le faisceau de référence avec le faisceau objet réfléchi depuis la surface afin de produire dans la forme de speckle une référence croisée fournissant des données sur le mouvement relatif de la surface et de l'interféromètre; détecter la forme de speckle et la forme de référence croisée à l'aide des détecteurs; déterminer lequel des détecteurs du réseau présente une sensibilité nulle ou minimale relativement à la vitesse totale Vtot du mouvement, ce qui permet d'identifier le détecteur présentant une ligne de direction de sensibilité normale relativement à Vtot; surveiller le changement temporel dans celui des détecteurs qui présente une sensibilité nulle ou minimale, de façon à déterminer avec précision le changement de direction de Vtot au fil du temps, imputable à des changements intervenus dans V1; et déterminer des changements temporels dans V1.
Meldahl Paul
Vikhagen Eiolf
Macrae & Co.
Statoil Asa
LandOfFree
Method and apparatus for studying surface vibrations by... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Method and apparatus for studying surface vibrations by..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Method and apparatus for studying surface vibrations by... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1445964