H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
Patent
CA 2387341
An apparatus for supercritical processing of multiple workpieces comprises a transfer module, first and second supercritical processing modules, and a robot. The transfer module includes an entrance. The first and second supercritical processing modules are coupled to the transfer module. The robot is preferably located with the transfer module. In operation, the robot transfers a first workpiece from the entrance of the transfer module to the first supercritical processing module. The robot then transfers a second workpiece from the entrance to the second supercritical processing module. After the workpieces have been processed, the robot returns the first and second workpieces to the entrance of the transfer module. Alternatively, the apparatus includes additional supercritical processing modules coupled to the transfer module.
La présente invention concerne un appareil destiné au traitement supercritique de multiples pièces, qui comprend un module de transfert, un premier et un second module de traitement supercritique, et un robot. Ce module de transfert comprend une entrée. Le premier et le second module de traitement supercritique sont couplés au module de transfert. Le robot se situe de préférence avec le module de transfert. En fonctionnement, ce robot transfère une première pièce de l'entrée du module de transfert au premier module de traitement supercritique. Puis ce robot transfère une seconde pièce de l'entrée au second module de traitement supercritique. Lorsque ces pièces ont été traitées, le robot renvoie les première et seconde pièces à l'entrée du module de transfert. Dans un mode de réalisation de l'invention, cet appareil comprend des modules de traitement supercritiques additionnels couplés au module de transfert.
Biberger Maximilian A.
Layman Frederick Paul
Sutton Thomas Robert
Long And Cameron
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
Method and apparatus for supercritical processing of... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Method and apparatus for supercritical processing of..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Method and apparatus for supercritical processing of... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1910802