H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
Patent
CA 2387373
An apparatus for supercritical processing and non-supercritical processing of a workpiece comprises a transfer module, a supercritical processing module, a non-supercritical processing module, and a robot. The transfer module includes an entrance. The supercritical processing module, and the non-supercritical processing module are coupled to the transfer module. The robot is preferably located within the transfer module. In operation, the robot transfers a workpiece from the entrance of the transfer module to the supercritical processing module. After supercritical processing, the robot then transfers workpiece from the supercritical processing module to the non-supercritical processing module. After the non-supercritical processing, the robot returns the workpiece to the entrance of the transfer module. Alternatively, the non- supercritical processing is performed before the supercritical processing.
Dispositif servant à effectuer le traitement supercritique et non-supercritique d'une pièce et comprenant un module de transfert, un module de traitement supercritique, un module de traitement non-supercritique et un robot. Le module de transfert comporte une entrée. Le module de traitement supercritique et le module de traitement non-supercritique sont couplés au module de transfert. Le robot est de préférence placé à l'intérieur du module de transfert. En fonctionnement, ce robot transfère une pièce depuis l'entrée du module de transfert jusqu'au module de traitement supercritique. Après le traitement supercritique, le robot transfère ensuite la pièce depuis le module de traitement supercritique jusqu'au module de traitement non-supercritique. Après le traitement non-supercritique, le robot renvoie la pièce à l'entrée du module de transfert. Dans un autre mode de réalisation, le traitement non-supercritique est exécuté préalablement au traitement supercritique.
Biberger Maximilian A.
Layman Frederick Paul
Sutton Thomas Robert
Long And Cameron
Tokyo Electron Limited
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1559865