Method and apparatus for testing interconnect networks

Details Method and apparatus for testing interconnect networks Method and apparatus for testing interconnect networks

G - Physics

01

R

G01R 1/07 (2006.01) G01R 1/06 (2006.01) G01R 31/02 (2006.01) G01R 31/302 (2006.01)

Patent

CA 2329781

Method and apparatus for testing interconnect networks, by generating at least two plasma jets, each in the vicinity of a distinct point (12, 13) of the circuit to be tested, applying a voltage difference whereby to cause an electric current to flow between the points through the circuit, to each point through the corresponding plasma jet and maintaining the current flow to carry out the testing process. Each plasma jet is generated by producing a discharge between two electrodes within a cavity, said plasma being ejected out through an orifice. The apparatus comprises at least two plasma injector-electrodes (14, 16) to drive an electric current between two points of the circuit to be tested, each so positioned or positionable as to direct the plasma generated thereby to one of the two points, a first electric circuit (21, 27) to supply voltage to each plasma injector-electrode, means (18, 20) for supplying gas to each plasma injector-electrode, and a second electric circuit (21, 27) similar or different from the first electric circuit, to sustain electric discharge.

L'invention concerne un procédé et un appareil de test de réseaux d'interconnexion, le procédé consistant à générer au moins deux jets de plasma, chacun à côté d'un point distinct (12, 13) du circuit à tester ; à appliquer une différence de tension pour provoquer le flux d'un courant électrique entre les points du circuit, la tension étant appliquée à chaque point par le jet de plasma correspondant ; et à maintenir le flux de courant pour réaliser le procédé de test. On génère chaque jet de plasma en produisant une décharge entre deux électrodes dans une cavité, ce plasma étant éjecté par un orifice. L'appareil comprend : au moins deux électrodes (14, 16) d'injection de plasma destinées à entraîner un courant électrique entre deux points du circuit à tester, chaque électrode étant placée ou pouvant être placée de manière à orienter le plasma généré sur un des deux points ; un premier circuit électrique (21, 27) d'alimentation en tension de chaque électrode d'injection de plasma ; un dispositif (18, 20) d'alimentation en gaz de chaque électrode d'injection de plasma ; et un deuxième circuit électrique (21, 27) similaire au premier circuit électrique ou différent et destiné à fournir une décharge électrique.

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