Method and apparatus for thickness measurement

G - Physics – 01 – B

Patent

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Details

G01B 11/06 (2006.01) G01B 11/245 (2006.01) G01B 15/02 (2006.01) G01B 21/08 (2006.01)

Patent

CA 2672679

The material thickness of extended objects can be efficiently determined using two distance measuring devices which project a strip of measuring light onto the object to be measured and operate as light section measuring devices. The first distance measuring device determines the distance from the first main surface of the object, and the second distance measuring device determines the distance from the second main surface of the object, opposite to the first main surface. Potential measuring errors caused by variations of the distance between the two distance measuring devices, resulting from vibrations or thermal deformations, are avoided by the additional use of an X-ray device for determining the material thickness of the object on the basis of the weakening of the X-radiation, caused by the object. The material thicknesss of the object between the first main surface and the second main surface can be determined with a high level of precision and speed, on the basis of the measured distances from the main surfaces of the object and the material thickness determined by the X-ray device.

L'épaisseur de matériau d'objets dilatés peut être déterminée efficacement au moyen de deux dispositifs de mesure de distance projetant une bande lumineuse de mesure sur l'objet à mesurer et fonctionnant en tant que dispositif de mesure à coupe optique. Le premier dispositif de mesure de distance détermine la distance par rapport à la première surface principale de l'objet et le deuxième dispositif de mesure de distance détermine la distance par rapport à la deuxième surface principale de l'objet, faisant face à la première. Des erreurs de mesure potentielles dues à des variations de la distance entre les deux dispositifs de mesure de distance résultant de vibrations ou de déformations thermiques, sont évitées du fait qu'un dispositif à rayons X détermine par ailleurs l'épaisseur de matériau de l'objet sur la base de l'atténuation des rayons X. Sur la base des distances mesurées par rapport aux surfaces principales de l'objet et de l'épaisseur de matériau déterminée par le dispositif à rayons X, il est possible de déterminer l'épaisseur de matériau de l'objet entre la première et la deuxième surface principale de façon précise et à une vitesse élevée.

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