H - Electricity – 01 – J
Patent
H - Electricity
01
J
H01J 37/32 (2006.01)
Patent
CA 2279229
The apparatus (12) generates a time-varying magnetic field through a field admission window (22) of plasma processing chamber (10) to create or sustain a plasma within the chamber by inductive coupling. It comprises: a magnetic core (26; 260) presenting a unipolar pole face structure (26a; 260a) adapted to be applied against or in proximity to the window and having an active field emission area whose size and shape substantially matches the field admission window, and an inductor means (28) associated with the magnetic core, for generating a substantially uniformly distributed time-varying magnetic field throughout the unipolar pole face structure. The apparatus can be formed as an integral part of a plasma processing chamber. The invention also relates to a plasma processing chamber having more than one field admission window for cooperating e.g. with respective time-varying magnetic field generating apparatus.
Cet appareil (12) produit un champ magnétique variant dans le temps via une fenêtre d'admission de champ (22) d'une chambre de traitement au plasma (10) afin de créer, ou d'entretenir, par couplage inductif un plasma dans la chambre. Cet appareil comporte d'une part un noyau magnétique (26, 260) présentant une structure à face de pôle unipolaire (26a, 260a) adaptée pour l'application contre ou au voisinage de la fenêtre et comportant une zone active d'émission de champ dont la taille et la forme correspondent sensiblement à celles de la fenêtre d'admission de champ. L'appareil comporte d'autre part un organe d'induction (28) associé a noyau magnétique et capable de produire un champ magnétique variable dans le temps et distribué sensiblement uniformément dans toute la structure à face de pôle unipolaire. Cet appareil peut être partie intégrante de la chambre de traitement au plasma. L'invention concerne également une chambre de traitement au plasma pourvue de plusieurs fenêtres d'admission de champ en vue d'une coopération avec notamment l'appareil considéré à génération de champ magnétique variable dans le temps.
Colpo Pascal
Daviet Jean-Francois
Ernst Roland
Rossi Francois
European Community (ec)
Robic
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1353786