Method and arrangement for thermal treatment of substrates

Details Method and arrangement for thermal treatment of substrates Method and arrangement for thermal treatment of substrates

H - Electricity

01

L

H01L 21/687 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)

Patent

CA 2669417

The invention relates to a method for heat treatment of substrates, and to an arrangement for carrying out the method. The object is to provide a method and an arrangement for heat treatment of substrates which allow continuously adjustable cooling rates over a wide temperature range with simultaneously largely homogeneous temperature distribution over the area of the heating/cooling plate. This is achieved by virtue of the cooling/heating plate (1) containing a multiplicity of cooling/heating pipes (5) running parallel to one another, each cooling/heating pipe (5) comprising an outer pipe (9), an inner pipe (8) which can carry a flow and an interspace (10) between them which can carry a flow, and each inner pipe (8) being connected to a supply line for water and each interspace (10) being connected to a supply line for air, with water and air being routed simultaneously through the cooling/heating plate.

L'invention concerne un procédé de traitement thermique de substrats ainsi qu'un système en vue de la mise en AEuvre du procédé. Le problème à la base de l'invention consiste à créer un procédé et un système de traitement thermique de substrats qui permettent de régler progressivement les vitesses de refroidissement sur une large plage de températures tout en garantissant une répartition largement uniforme de la température sur la surface de la plaque de chauffage et/ou de refroidissement. Ce résultat est atteint en disposant à l'intérieur de la plaque de refroidissement et/ou de chauffage (1) plusieurs tubes (5) de chauffage et/ou de refroidissement parallèlement les uns aux autres, chaque tube de refroidissement et/ou de chauffage (5) étant constitué d'un tube extérieur (9), d'un tube intérieur (8) qui peut être traversé par un écoulement et entre eux, d'un espace intermédiaire (10) qui peut être traversé par un écoulement et en reliant chaque tube intérieur (8) à une amenée d'eau et chaque espace intermédiaire (10) à une amenée d'air, l'eau et l'air étant passés en même temps dans la plaque de refroidissement et/ou de chauffage.

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