Method and device for coating a polymer film with an oxide...

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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Details

C23C 16/453 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/54 (2006.01)

Patent

CA 2627664

A web of a polymer film (1) is coated with an oxide layer, in particular with an SiOxbarrier layer, by transporting the web with the aid of a rotatable drum (12) through a plurality of flame bands, which are directed in a radial direction from above against the circumferential surface of the drum, which extend at a distance from each other across the width of the web being supported and transported on this circumferential surface, and which are fed with a gas mixture comprising a combustible gas an oxidant and a silicon containing compound. Therein the circumferential surface of the rotatable drum is cooled to a predetermined temperature and the web is transported through the area of the tip of the inner flame region. Polymer films with barrier layers produced in the named way have at small layer thicknesses of less than 10 nm very good barrier properties. In addition, the process being carried out at ambient pressure can be carried out with simple equipment and, if required, in a continuous roll-to-roll or in-line process.

Dans le procédé de l'invention, une bande d'une pellicule polymère (1) est revêtue d~une couche d~oxyde, en particulier d~une couche écran de SiOx, lors du transport de la bande à l~aide d~un tambour rotatif (12) à travers une pluralité de bandes de flambage, qui sont dirigées dans une direction radiale depuis le dessus contre la surface circonférentielle du tambour, qui s~étendent à une certaine distance les unes des autres à travers la largeur de la bande supportée et transportée sur cette surface circonférentielle, et qui sont alimentées avec un mélange gazeux comprenant un gaz combustible, un oxydant et un composé contenant du silicium. La surface circonférentielle du tambour rotatif est refroidie à une température prédéterminée et la bande est transportée à travers l~aire de l~extrémité de la zone de flambage interne. Des pellicules polymères comportant des couches écran produites de cette façon présentent pour des épaisseurs de couches inférieures à 10 nm d~excellentes propriétés écran. De plus, le processus étant réalisé à pression ambiante peut être effectué avec un équipement simple et, si nécessaire, en un processus continu à rouleaux ou en ligne.

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