G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 15/02 (2006.01)
Patent
CA 2637788
Described herein is a method for measuring, via a microwave sensor (13) , the thickness of a layer of first material, said method envisaging: acquiring at least one frequency response of the layer of first material via a microwave sensor (13) ; setting (30) the microwave sensor (13) on a plurality of specimens of second materials for different temperature values (Tamb, Tl, T2, T3) in such a way as to obtain reference data (CD, X, Y, S) ; calibrating (31) the microwave sensor (13) as a function of the electrical conductivity of the first material using the reference data (CD, X, Y, S) ; measuring (32) the temperature (Tm) of the layer of first material via a temperature sensor (14); determining (33) measurement parameters (Fl_m, F2_m, Amin_m) from the frequency response; and processing (33) the reference data (CD, X, Y, S) with the measurement parameters (Fl_m, F2__m, Amin_m) to obtain a measurement (Sm) of the thickness of the layer of first material.
L'invention concerne un procédé qui permet de mesurer, à l'aide d'un capteur à micro-ondes (13), l'épaisseur d'une couche d'un premier matériau, lequel procédé consiste à : acquérir au moins une réponse de fréquence de la couche de premier matériau au moyen d'un capteur à micro-ondes (13); régler (30) le capteur à micro-ondes (13) sur une pluralité d'échantillons de seconds matériaux pour des valeurs de température différentes (Tamb, T1, T2, T3) de manière à obtenir des données de référence (CD, X, Y, S); étalonner (31) le capteur à micro-ondes (13) en fonction de la conductivité électrique du premier matériau en utilisant les données de référence (CD, X, Y, S); mesurer (32) la température (Tm) de la couche de premier matériau au moyen d'un capteur de température (14); déterminer (33) des paramètres de mesure (F1_m, F2_m, Amin_m) à partir de la réponse de fréquence; et traiter (33) les données de référence (CD, X, Y, S) avec les paramètres de mesure (F1_m, F2_m, Amin_m) afin d'obtenir une mesure (Sm) de l'épaisseur de la couche de premier matériau.
Norton Rose Or S.e.n.c.r.l. S.r.l./llp
S.a. Giuseppe Cristini S.p.a.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1719989