C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
Patent
CA 2573485
The coating of internal surfaces of a workpiece is achieved by connecting a bias voltage (20 and 47) such that the workpiece functions as a cathode and by connecting an anode (22 and 24) at each opening of the workpiece. A source gas (16 and 18) is introduced at an entrance opening, while a vacuum source (32) is connected at an exit opening. Pressure within the workpiece is monitored (34) and the resulting pressure information is used for maintaining a condition that exhibits the hollow cathode effect. Optionally, a pre-cleaning (52) may be provided by introducing a hydrocarbon mixture and applying a negative bias to the workpiece, so as to sputter contaminants from the workpiece using argon gas (16). Argon gas may also be introduced during the coating processing to re-sputter the coating, thereby improving uniformity along the length of the workpiece. The coating may be a diamond-like carbon material having properties which are determined by controlling ion bombardment energy.
Le revêtement des surfaces internes d'une pièce s'effectue par la connexion d'un système à tension de polarisation (20 et 47), de sorte que la pièce fasse office de cathode, et par la connexion d'une anode (22 et 24) au niveau de chaque ouverture de la pièce. Un gaz source (16 et 18) est introduit par l'ouverture d'entrée pendant qu'une source de vide (32) est raccordée à une ouverture de sortie. La pression dans la pièce est contrôlée (34) et les informations de pression résultantes sont utilisées pour maintenir une condition induisant l'effet de cathode creuse. Eventuellement, un pré-nettoyage (52) peut être assuré par l'introduction d'un mélange d'hydrocarbure et par l'application d'une polarisation négative sur la pièce, de sorte que les contaminants soient enlevés de la pièce par pulvérisation à l'aide d'argon gazeux (16). De l'argon gazeux peut également être introduit pendant le procédé de revêtement, de manière que le revêtement soit re-pulvérisé, ce qui améliore l'homogénéité sur la longueur de la pièce. Le revêtement peut être un matériau carboné du type diamant possédant des propriétés déterminées par la régulation de l'énergie de bombardement ionique.
Boardman William John
Mercado Raul Donate
Tudhope Andrew William
Smart & Biggar
Sub-One Technology Inc.
LandOfFree
Method and system for coating internal surfaces of... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with Method and system for coating internal surfaces of..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and Method and system for coating internal surfaces of... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1997016