Method and system for detecting material using piezoelectric...

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H - Electricity

01

L

H01L 41/04 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01) G01N 29/02 (2006.01)

Patent

CA 2295225

A method and system for detecting material bound on a surface of a piezoelectric resonator (20) introduces a signal of a constant frequency through the sensing resonator and detects a change in the insertion phase shift of the resonator (20) as a result of the binding of the material being detected on the surface of the resonator (20). Environmental effects on the measurement are effectively canceled by the use of a reference resonator driven by the same input signal (21). A multiple-port sensing device is provided which includes thin-film sensing and reference resonators monolithically formed on a substrate.

Procédé et système pour la détection de matière liée à une surface d'un résonateur piézoélectrique (20). Ledit procédé consiste à introduire un signal à fréquence constante dans le résonateur de détection et à détecter le changement de déphasage d'insertion du résonateur (20), consécutif à la liaison de la matière en cours de détection sur la surface du résonateur (20). L'influence de l'environnement sur la mesure est annulée efficacement au moyen d'un résonateur de référence excité par le même signal d'entrée (21). Est également prévu, un dispositif de détection à ports multiples qui comprend des résonateurs à couche mince et de référence monolithiques formés sur un substrat.

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