C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 16/46 (2006.01) C23C 16/48 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) C23C 18/14 (2006.01)
Patent
CA 2545700
A method for forming a film of material using chemical vapor deposition. The method includes providing a substrate comprising a pattern of at least one metallic nanostructure, which is made of a selected material. The method includes determining a plasmon resonant frequency of the selected material of the nanostructure and exciting a portion of the selected material using an electromagnetic source having a predetermined frequency at the plasmon resonant frequency to cause an increase in thermal energy of the selected material. The method includes applying one or more chemical precursors overlying the substrate including the selected material excited at the plasmon resonant frequency and causing selective deposition of a film overlying at least the portion of the selected material.
La présente invention a trait à un procédé de formation de film de matériau au moyen de dépôt chimique en phase vapeur. Le procédé comprend la mise à disposition d'un substrat comportant une configuration d'au moins une nanostructure métallique, réalisée en un matériau sélectionné. Le procédé comprend la détermination d'une fréquence de résonance plasmonique du matériau sélectionné de la nanostructure et l'excitation d'une portion du matériau sélectionné au moyen d'une source électromagnétique ayant une fréquence prédéterminée à la fréquence de résonance plasmonique pour entraîner un accroissement dans l'énergie thermique du matériau sélectionné. Le procédé comprend l'application d'un ou de plusieurs précurseur(s) chimique(s) sus-jacents au substrat comprenant le matériau sélectionné excité à la fréquence de résonance plasmonique et entraînant un dépôt sélectif d'un film sus-jacent à la portion du matériau sélectionné.
Boyd David A.
Brongersma Mark
Greengard Leslie
Boyd David A.
Brongersma Mark
California Institute Of Technology
Fetherstonhaugh & Co.
Greengard Leslie
LandOfFree
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