Method and system for inspecting optical devices

Details Method and system for inspecting optical devices Method and system for inspecting optical devices

G - Physics

01

M

G01M 11/02 (2006.01)

Patent

CA 2444517

A method of inspecting optical devices comprising (a) illuminating the optical device and a surrounding background with light, wherein said light comprises a first wavelenght band and a second wavelenght band, wherein said first wavelength band and said second wavelength band are different wavelengths, and wherein said first wavelength band has a first intensity and said second wavelength band has a second intensity; (b) transmitting said light throug said optical device wherein the majority of said first wavelength band is absorbed by said optical device and the majority of the second wavelength band is transmitted through said optical device, and capturing said lens transmitted light on a photo-sensitive pixel array; (c) transmitting said light through said surrounding background wherein the majority of said first wavelength band and said second wavelength band are transmitted, and capturing said background transmitted light on a photo-sensitive array; (d) reading pixels generated form step (b) and step (c) and comparing the gray scale values of saide reading, wherein the difference between the grayscale values of the pixels generated from said background transmitted light and from said lens transmitted light is of sufficient value to distinguish between holes in said optical device and bubbles in said surrounding backround.

L'invention concerne un procédé d'inspection de dispositifs optiques consistant à (a) éclairer ledit dispositif optique et un arrière-plan voisin avec de la lumière qui présente des première et seconde bandes de longueur d'onde, ladite première bande de longueur d'onde et ladite seconde bande de longueur d'onde ayant des longueurs d'ondes différentes et la première bande de longueur d'onde possédant une première intensité et la seconde bande de longueur d'onde possédant une seconde intensité. Puis, ledit procédé d'inspection consiste à (b) transmettre ladite lumière à travers ledit dispositif optique, la plus grande partie de la première bande de longueur d'onde est alors absorbée par ledit dispositif optique et la plus grande partie de la seconde bande de longueur d'onde est alors transmise à travers ledit dispositif optique, et ensuite ce procédé débouche sur la capture de la lumière transmise par la lentille sur un réseau de pixels photosensibles. Le procédé de cette invention comprend comme étapes subséquentes (c) la transmission de ladite lumière à travers l'arrière-plan voisin, au cours laquelle est transmise la plus grande partie de la première bande de longueur d'onde et de la seconde bande de longueur d'onde, et la capture de cette lumière transmise en arrière-plan sur un réseau photosensible, (d) la lecture de pixels engendrés aux étapes (b) et (c) et la comparaison des valeurs de gamme de gris, la différence entre ces valeurs de pixels produites à partir de la lumière transmise en arrière-plan et de la lumière transmise par la lentille étant une valeur suffisante pour permettre de faire la distinction entre des trous dans ledit dispositif optique et des bulles dans ledit arrière-plan voisin.

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