Method and system for processing measurement signals to...

G - Physics – 01 – N

Patent

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G01N 21/17 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) G01B 17/02 (2006.01) G01N 29/22 (2006.01) G01N 29/24 (2006.01) G01N 29/42 (2006.01) G01N 29/46 (2006.01) G01N 29/50 (2006.01)

Patent

CA 2272954

A method and system are disclosed for processing time-varying measurement signals (28) to obtain a value for a physical parameter by extracting frequency information from the signals (28). The frequency information includes at least one desired frequency. The frequency information is converted to a value for the physical parameter. Extraction is performed by transforming discrete time ultrasonic signals to a Z-domain (182) and converting at least one zero or pole in the Z-domain to the desired frequency and its decay rate. The measurement signals may be coherent light signals (24, 26, 28) which are frequency modulated based on the propagation of longitudinal waves in the object. For a static film, the physical parameter may be thickness of a cured layer. When the object is a dynamic curable film, its thickness changes over time from an initial value, to an intermediate value, and to a final value.

L'invention porte sur un procédé et un système de traitement de signaux (28) de mesure variant dans le temps et permettant d'obtenir une valeur concernant un paramètre physique, ce procédé s'effectuant par extraction d'une donnée de fréquence des signaux (28). La donnée de fréquence comprend au moins une fréquence de consigne. Cette fréquence de consigne est convertie en une valeur concernant le paramètre physique. L'extraction est réalisée par transformation des signaux ultrasons à moments discrets en un domaine Z (182) et par conversion au moins des uns, des zéros et des polarités du domaine Z en fréquence de consigne avec son taux de décroissance. Les signaux de mesure peuvent être des signaux de lumière cohérente (24, 26, 28) qui sont modulés en fréquence sur la base de la propagation d'ondes longitudinales dans l'objet. Pour un film statique, le paramètre physique peut être l'épaisseur d'une couche durcie. Lorsque l'objet est un film dynamique durcissable, son épaisseur varie dans le temps d'une valeur initiale à une valeur intermédiaire et à une valeur finale.

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