B - Operations – Transporting – 23 – K
Patent
B - Operations, Transporting
23
K
B23K 26/00 (2006.01) H05K 3/42 (2006.01)
Patent
CA 2246329
The output of a continuously pumped, Q-switched, Nd:YAG laser (10) is frequency converted to provide ultraviolet light (62) for forming vias (72, 74) in targets (40) having metallic layers (64, 68) and a dielectric layer (66). The invention employs a first laser output of high power density to ablate the metallic layer and a second laser output of a lower power density to ablate the dielectric layer. The parameters of the output pulses (62) are selected to facilitate substantially clean, sequential drilling or via formation. These parameters typically include at least two of the following criteria: power density first above and then below the ablation threshold of the conductor, wavelength less than 400 nm, a temporal pulse width shorter than about 100 nanoseconds, and a repetition rate of greater than about one kilohertz. The ability to generate ultraviolet light output pulses at two power densities facilitates the formation of depthwise self-limiting blind vias in multilayer targets, such as a target composed of a layer dielectric material covered on either surface by a layer of metal.
L'émission d'un laser Nd:YAG (10), déclenché et pompé en continu, subit une conversion de fréquence afin de produire de la lumière ultraviolette (62) pour former des trous (72, 74) dans des cibles (40) possédant des couches métalliques (64, 68) et une couche diélectrique (66). L'invention consiste à employer une première émission laser de densité d'énergie élevée pour pratiquer l'ablation de la couche métallique, puis une seconde émission laser de densité d'énergie plus faible pour pratiquer l'ablation de la couche diélectrique. Les paramètres des impulsions (62) de sortie sont choisis pour faciliter une forage ou une formation de trou sensiblement propre et séquentielle. Ces paramètres comprennent généralement au moins deux des critères suivants: densité d'énergie d'abord supérieure puis inférieure au seuil d'ablation du conducteur, longueur d'onde inférieure à 400 nm, durée d'impulsion inférieure à environ 100 nanosecondes et fréquence de répétition supérieure à environ un kilohertz. Le fait de pouvoir produire des impulsions de sortie de lumière ultraviolette à deux densités d'énergie facilite la formation de trous borgnes avec limitation automatique de profondeur, dans ces cibles multicouches telles qu'une cible composée d'une couche de matériau diélectrique recouverte sur l'une ou l'autre de ses surfaces d'une couche métallique.
Larson Bonnie A.
Owen Mark D.
Van Puymbroeck Jozef
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1530061