Method for checking or calibrating the angle-dependent...

G - Physics – 01 – C

Patent

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G01C 1/02 (2006.01) G01C 25/00 (2006.01)

Patent

CA 2534050

The invention relates to a method for checking or calibrating the angle- dependent alignment of a reference structure on a high-precision test-piece (1). After arrangement of the test-piece (1) on a retainer piece (3), a pre- alignment of an optical unit (8, 8a, 8b, 8c) and/or the reference structure of the test-piece (1) is carried out, such that the test-piece beam (10, 10a, 10b, 10c, 10d) is at least partly incident on a detector (9) and generates at least one point (12) there. The position of the at least one point (12) on the detector (9) is evaluated by means of a control/regulation unit (13). After a relatively fine alignment of the optical unit (8, 8a, 8b, 8c), relative to the reference structure, by means of the control/regulation unit (13), depending on the position of the at least one point (12) on the detector (9), such that the at least one point (12) has a given set position on the detector (9), a recording of at least the retainer piece rotation angle and/or the measuring piece rotation angle is carried out, whereby a beam (30, 35a, 35b, 35c, 35d) from the reference structure of the test-piece (1) is generated, or modified with relation to a beam parameter, in particular, by reflection, stopping, filtering or shaping and the generated or altered beam (30, 35a, 35b, 35c, 35d) forms the test-piece beam (10, 10a, 10b, 10c, 10d).

L'invention concerne un procédé pour vérifier ou étalonner l'alignement dépendant de sa position angulaire d'une structure de référence se trouvant sur une éprouvette (1) de haute précision. Après disposition de l'éprouvette (1) sur une partie de retenue (3), on effectue un préalignement d'une unité optique (8, 8a, 8b, 8c) et/ou de la structure de référence de l'éprouvette (1), de sorte que le faisceau (10, 10a, 10b, 10c, 10d) de l'éprouvette vienne frapper, au moins partiellement, un détecteur (9) et y génère au moins un point (12). La position du ou des point(s) (12) sur le détecteur (9) est évaluée par une unité de commande/régulation (13). Après un alignement fin relatif de l'unité optique (8, 8a, 8b, 8c) par rapport à la structure de référence, effectué par l'intermédiaire de l'unité de commande/régulation (13) en fonction de la position du ou des point(s) (12) sur le détecteur (9), de façon que le ou les point(s) (12), atteignent une position de consigne définie sur le détecteur (9), est effectuée la mesure d'au moins l'angle de rotation de la pièce de retenue et/ou de l'angle de rotation de la pièce de mesure. Un rayonnement (30, 35a, 35b, 35c, 35d) est généré par la structure de référence de l'éprouvette (1) ou bien modifié au niveau d'un paramètre de rayonnement, en particulier par réflexion, arrêt, filtrage ou mise en forme, et le rayonnement (30, 35a, 35b, 35c, 35d) forme le faisceau (10, 10a, 10b, 10c, 10d) correspondant à l'éprouvette.

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Profile ID: LFCA-PAI-O-1893838

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