B - Operations – Transporting – 08 – B
Patent
B - Operations, Transporting
08
B
B08B 3/00 (2006.01) B08B 7/00 (2006.01) C11D 7/04 (2006.01) C11D 7/06 (2006.01) C11D 7/08 (2006.01) C11D 7/30 (2006.01) C11D 7/50 (2006.01) C11D 11/00 (2006.01) G03F 7/42 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01)
Patent
CA 2472478
A method for cleaning an article includes the steps of contacting the article with a solvent fluid that includes carbon dioxide, whereby contaminants on the article dissolve in the solvent fluid and displacing the solvent fluid with a displacing fluid, that is other than carbon dioxide. In one aspect, the displacing fluid is at a temperature and pressure sufficient to prevent forming a second phase in the solvent fluid being displaced and at least a portion of the carbon dioxide is recycled to the article. In another aspect, the pressure of the solvent fluid is reduced prior to its displacement with the displacing gas.
L'invention concerne un procédé de nettoyage d'un article, consistant à mettre l'article en contact avec un fluide solvant renfermant du dioxyde de carbone pour dissoudre les contaminants de l'article dans le solvant, puis à déplacer le fluide solvant avec un fluide de déplacement autre que le dioxyde de carbone. Dans un aspect de l'invention, le fluide de déplacement est à une température et à une pression suffisantes pour éviter la formation d'une seconde phase dans le fluide solvant déplacé, au moins une partie du dioxyde de carbone étant recyclée vers l'article. Dans un autre aspect de l'invention, le procédé consiste à réduire la pression du fluide solvant avant qu'il ne soit déplacé à l'aide du gaz de déplacement.
Praxair Technology Inc.
Sim & Mcburney
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1595811