B - Operations – Transporting – 23 – K
Patent
B - Operations, Transporting
23
K
B23K 26/00 (2006.01) A61B 18/20 (2006.01) B23K 26/06 (2006.01) B23K 26/36 (2006.01) B23K 26/38 (2006.01) B23K 26/40 (2006.01) A61F 9/008 (2006.01)
Patent
CA 2186451
In one aspect the invention provides a method for laser induced breakdown of a material with a pulsed laser beam where the material is characterized by a relationship of fluence breakdown threshold (Fth) versus laser beam pulse width (T) that exhibits an abrupt, rapid, and distinct change or at least a clearly detectable and distinct change in slope at a predetermined laser pulse width value. The method comprises generating a beam of laser pulses in which each pulse has a pulse width equal to or less than the predetermined laser pulse width value. The beam is focused to a point at or beneath the surface of a material where laser induced breakdown is desired. The beam may be used in combination with a mask in the beam path. The beam or mask may be moved in the X, Y and Z directions to produce desired features. The technique can produce features smaller than the spot size and Rayleigh range due to enhanced damage threshold accuracy in the short pulse regime.
L'un des volets de l'invention porte sur un procédé de destruction à l'aide d'un faisceau laser pulsé d'un matériau caractérisé par un rapport seuil de rupture de fluence (F¿th?)/largeur du faisceau laser (T) présentant une inflexion abrupte, rapide, et nette ou du moins une inflexion clairement détectable et nette de la pente pour une valeur prédéterminée de la largeur du faisceau laser. Ledit procédé consiste à produire un faisceau pulsé dans lequel chacune des impulsions présente une largeur inférieure ou égale à la valeur prédéterminée de la largeur de l'impulsion laser. Le faisceau, qui est focalisé en un point de la surface de l'objet à détruire, ou proche de celle-ci, peut être associé à un masque placé sur sa trajectoire, le faisceau et le masque pouvant être déplacés selon les axes des X, des Y et des Z pour obtenir l'effet désiré. Cette technique permet de produire des impacts plus petits que le spot du faisceau et que la distance de Rayleigh en raison de l'accroissement de précision du seuil de dégâts en régime d'impulsions courtes.
Du Detao
Dutta Subrata K.
Elner Victor
Kurtz Ron
Lichter Paul R.
Marks & Clerk
The Regents Of The University Of Michigan
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1382112