F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons – 04 – D
Patent
F - Mech Eng,Light,Heat,Weapons
04
D
F04D 19/04 (2006.01) F16C 32/04 (2006.01) F16C 39/06 (2006.01) H02K 7/09 (2006.01)
Patent
CA 2674263
The invention relates to a method for determination of resonant frequencies of a rotor using magnetic bearings, in particular of a rotor of a turbomolecular vacuum pump. While the rotor is stationary or the rotor is rotating at a relatively low rotation frequency, mechanical oscillations of the rotor are generated by electromagnets in the magnetic bearing. The rotor oscillations are detected by rotor-position sensors in the magnetic bearing. The resonant frequencies of the rotor are determined from the detected rotor-position oscillations.
L'invention se rapporte à un procédé de détermination des fréquences de résonance d'un rotor à palier magnétique, notamment un rotor d'une pompe à vide turbomoléculaire. Pendant l'arrêt du rotor ou la rotation du rotor à une fréquence de rotation relativement faible, des oscillations mécaniques du rotor sont générées par les électroaimants du palier magnétique. Les oscillations du rotor sont détectées par des capteurs de position du rotor situés sur le palier magnétique. Les fréquences de résonance du rotor sont déterminées à partir des oscillations détectées de la position du rotor.
Fetherstonhaugh & Co.
Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-2002039