G - Physics – 01 – B
Patent
G - Physics
01
B
G01B 11/06 (2006.01) B29D 17/00 (2006.01) G01B 11/22 (2006.01) G11B 7/26 (2006.01)
Patent
CA 2350511
According to the inventive method for determining the thickness of at least one layer provided on a substrate, the measurement can be constructed simply and reliably and a reliable measuring result can be obtained by measuring reflection- and/or transmission light intensity values of zero order in dependence on the wavelength and calculating said reflection- and/or transmission light intensity values using an iteration model which is dependent on the individual layer parameters. The layer parameters are altered in order to introduce a consistency between the measured values and the calculated values and the substrates have geometrical structures whose geometrical dimensions are used as further parameters of the iteration model. The inventive method also provides a means of determining the geometry of structures in the substrate, for example the depth, width and the repetition interval of grooves in a blank for geometrical storage media, such as CDs.
L'invention concerne un procédé permettant de déterminer l'épaisseur d'au moins une couche appliquée sur un substrat. Pour obtenir une construction de mesure simple et fiable et une mesure fiable, on mesure des valeurs d'intensité de lumière réfléchie et/ou de lumière transmise d'ordre zéro en fonction de la longueur d'onde et on calcule les valeurs de lumière réfléchie et/ou transmise à l'aide d'un modèle d'itération qui dépend des différents paramètres de couche, sachant que l'on modifie ces différents paramètres de couche afin de faire coïncider les valeurs mesurées et les valeurs calculées et que les substrats présentent des structures géométriques dont les dimensions géométriques sont utilisées comme autres paramètres du modèle d'itération. Le procédé selon l'invention permet de déterminer la géométrie de structures dans le substrat comme la profondeur, la largeur et la distance répétée de rainures dans une ébauche de supports d'enregistrement géométriques, tels des disques compacts.
Hertling Rolf
Schaudig Wolfgang
Windeln Wilbert
Robic
Steag Hamatech Ag
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1811052