G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 5/18 (2006.01) G02B 6/34 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01)
Patent
CA 2458886
A chirped Bragg grating is fabricated in an optical fiber by exposing the fiber to a coherent beam of light through a parallel phase mask having a series of progressively chirped segments produced on a lithography tool. The chirped phase mask is fabricated by exposing a photoresist-coated substrate to an image writing element such as an electron beam or a laser according to a set of parameters provided to the lithography tool. The parameters include a basic grating pattern for each segment, a value that defines the expansion or contraction of the grating pattern and an axis location to which the grating pattern is to be written to the substrate. By selecting machine commands that implement these parameters with a minimum throughput overhead, the mask can be produced in a reduced time, and therefore with increased accuracy .
Selon cette invention, un réseau de Bragg à compression d'impulsions est fabriqué dans une fibre optique par exposition de cette fibre à un faisceau de lumière cohérent à travers un masque de phase parallèle possédant une série de segments de compression d'impulsions progressive produits à l'aide d'un outil de lithographie. Le masque de phase à compression d'impulsions est fabriqué par exposition d'un substrat revêtu d'un résine photosensible à un élément inscripteur d'image tel qu'un faisceau d'électrons ou un laser en fonction d'un ensemble de paramètres fournis à l'outil de lithographie. Ces paramètres comprennent un motif de réseau de base pour chaque segment, une valeur qui définit l'expansion ou la contraction de ce motif de réseau et un emplacement d'axe sur lequel le motif doit être imprimé sur le substrat. En sélectionnant des commandes de machine qui mettent en oeuvre ces paramètres avec un temps système de débit minimum, ce masque peut être produit dans un temps réduit, et ainsi avec une plus grande précision.
Osler Hoskin & Harcourt Llp
Photronics Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1649723