B - Operations – Transporting – 65 – G
Patent
B - Operations, Transporting
65
G
B65G 49/06 (2006.01) H01L 21/00 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01)
Patent
CA 2662424
The invention relates to methods and a handling system for forming stacks of wafers which need to be doped on one side, in particular solar wafers which need to be doped on one side, for the purpose of filling a process boot with wafer batches, in which a predetermined even number of wafers are provided in rows in the accommodating slots of a transfer carrier which is to be clamped on a horizontal plane and has a stacking opening which points upwards. In order to increase the packing density in the process boot and thus to increase the throughput of the diffusion process, half of the number of wafers provided in rows in the transfer carrier are transferred, in the form of a first wafer stack, from the transfer carrier to a position of readiness held outside the transfer carrier, the other half of the number of wafers provided in rows in the transfer carrier are then moved, in the form of a second wafer stack, out of the transfer carrier and the second wafer stack is pivoted in such a manner that the wafers in the second wafer stack pass into a position that has been pivoted through 180° relative to the position of the wafers in the first wafer stack in the position of readiness thereof, and the second wafer stack is then transferred to the position of readiness of the first wafer stack, is oriented with respect to the latter and is then joined to the first wafer stack in a positively locking manner to form a packet-type back-to-back wafer batch (BTB wafer batch) by virtue of those sides of the associated wafers in the first and second wafer stacks which do not need to be doped respectively being simultaneously placed on top of one another in a congruent manner, whereupon the BTB wafer batch is accepted by a transfer gripper in a positively locking manner and is loaded into the process boot.
L'invention concerne un procédé et un système de manutention destinés à former des piles de galettes qui doivent être dopées sur une face et en particulier de galettes solaires qui doivent être dopées sur une face, en vue de remplir une barquette de traitement de charges de galettes en préparant un nombre pair prédéterminé de galettes disposées en série dans les fentes de réception d'un transporteur de transfert fixé dans un plan horizontal et présentant une ouverture d'empilement tournée vers le haut. Pour augmenter la densité d'empilement dans la barquette de transfert et ainsi augmenter le débit de l'opération de diffusion, une moitié du nombre des galettes rangées en série dans le transporteur de transfert est amenée sous la forme d'une première pile de galettes prise dans le transporteur de transfert jusque dans une position d'attente maintenue à l'extérieur du transporteur de transfert. L'autre moitié du nombre des galettes rangées dans le transporteur de transfert est ensuite déplacée sous la forme d'une deuxième pile de galettes hors du transporteur de transfert et la deuxième pile de galettes est pivotée de telle sorte que les galettes de la deuxième pile de galettes passent dans une position tournée de 180° par rapport à la position des galettes de la première pile de galettes placées dans leur position d'attente. Ensuite, la deuxième pile de galettes est amenée dans la position d'attente de la première pile de galettes, est alignée sur cette dernière et est ensuite rassemblée en correspondance géométrique pour former une charge de galettes rangées dos-à-dos en un paquet (charge de galettes BTB) dans lequel les côtés des galettes mutuellement associés de la première et de la deuxième pile de galettes qui ne doivent pas être dopés sont placés l'un contre l'autre et se recouvrent simultanément, suite à quoi la charge des galettes BTB est saisie en correspondance géométrique par un dispositif de saisie de transfert et est chargée dans la barquette de traitement.
Jonas Stefan
Redmann Lutz
Jonas & Redmann Automationstechnik Gmbh
Riches Mckenzie & Herbert Llp
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1373546