B - Operations – Transporting – 23 – K
Patent
B - Operations, Transporting
23
K
B23K 26/38 (2006.01) B23K 26/08 (2006.01) G05B 19/39 (2006.01) H05K 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2469520
An fast steering mirror (30) , such as a PMN actuated mirror, is positioned in a beam path (18) of a stage-based positioning system (40) to continuously move a laser beam (46) in a high speed prescribed pattern about a nominal target position (60) to spatially separate focused laser spots (48) generated at a high laser repetition rate and thereby create geometric features having dimensions greater than those of the focused laser spot (48). A series of laser spots (48) at a given repetition rate appear as a series of larger diameter laser spots at a lower pulse rate without beam quality problems associated with working out of focus.
Selon l'invention, un miroir d'orientation rapide (30) de type miroir actionné par PMN, est positionné dans un chemin de faisceau (18) d'un système de positionnement (40) comprenant des étages, pour le déplacement continu d'un faisceau laser (46) dans un modèle déterminé à vitesse élevée autour d'une position cible nominale (60), afin que soient séparés spatialement des points laser focalisés (48) produits à une fréquence de récurrence laser élevée, ce qui permet de créer des caractéristiques géométriques présentant des dimensions supérieures à celles d'un point laser focalisé (48). Une série de points laser (48), à une fréquence de récurrence donnée, apparaissent sous forme de série de points laser présentant un diamètre supérieur, à une fréquence d'impulsions inférieure, sans les problèmes de qualité de faisceau associés à la mise en oeuvre de la focalisation.
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1682255