G - Physics – 01 – R
Patent
G - Physics
01
R
G01R 31/28 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
Patent
CA 2425609
A test structure (200) provides defect information rapidly and accurately. The test structure includes a plurality of lines (201,208) provided in a parallel orientation, a decoder (202, 205) coupled to the plurality of lines for selecting one of the plurality of lines, and a sense amplifier coupled to the selected line. To analyze an open, a line in the test structure is coupled to the sense amplifier. A high input signal is provided to the line. To determine the resistance of the open, a plurality of reference voltages are then provided to the sense amplifier. A mathematical model of the resistance of the line based on the reference voltage provided to the sense amplifier is generated. Using this mathematical model, the test structure can quickly detect and characterize defect levels down to a few parts-per-million at minimal expense.
Selon cette invention, une structure de test fournit rapidement et avec précision des informations relatives à des défauts. Cette structure de test comprend une pluralité de lignes formées dans un sens parallèle, un décodeur couplé à la pluralité de lignes et destiné à sélectionner une ligne de la pluralité de lignes et un amplificateur de détection couplé à la ligne sélectionnée. Pour analyser une ouverture, une ligne de la structure de test est couplée à l'amplificateur de détection. Un signal d'entrée haut est remis à la ligne. Pour déterminer la résistance de l'ouverture, une pluralité de tension de référence sont ensuite fournies à l'amplificateur de détection. Un modèle mathématique de la résistance de la ligne basé sur la tension de référence fournie à l'amplificateur de détection est généré. Au moyen de ce modèle mathématique, la structure de test peut détecter rapidement et caractériser des niveaux de défauts pouvant descendre jusqu'à quelques parties par million, à un moindre coût.
Nguyen Leon Ly
Vasudevan Narasimhan
Voogel Martin L.
Smart & Biggar
Xilinx Inc.
LandOfFree
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