G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 26/08 (2006.01)
Patent
CA 2437817
The invention concerns a method for making an optical micromirror comprising a fixed part, a mobile part, with reflecting means, linked to the fixed part by articulating means. Said method is characterised in that it comprises the following steps: a) producing a stack consisting of a mechanical support (21), a first layer (22) of thermal oxidation material and at least a second layer (26) of material designed to constitute the mobile part; b) providing articulation means (27); c) producing reflecting means (29) on the second layer; d) producing the mobile part by etching at least the second layer of material; e) eliminating the thermal oxidation layer to release said mobile part. The invention is applicable to optical routing or image projection systems.
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un micro-miroir optique comportant une partie fixe, une partie mobile, avec des moyens de réflexion, reliée à la partie fixe par des moyens d'articulation. Ce procédé est caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: a) réalisation d'un empilement formé d'un support mécanique (21), d'une première couche (22) de matériau d'oxydation thermique et d'au moins une deuxième couche (26) de matériau destinée à former la partie mobile, b) réalisation des moyens d'articulation (27), c) réalisation des moyens réflecteurs (29) sur la deuxième couche, d) réalisation de la partie mobile par gravure d'au moins la deuxième couche de matériau, e) élimination de la couche d'oxydation thermique pour libérer ladite partie mobile. Applications possibles aux systèmes de routage optique ou de projection d'images.
Goudreau Gage Dubuc
Teem Photonics
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1659860