H - Electricity – 01 – L
Patent
H - Electricity
01
L
H01L 39/22 (2006.01) H01L 39/24 (2006.01)
Patent
CA 2047139
In a method of manufacturing a superconducting device which has a first thin film of oxide superconductor material formed on a substrate and a second thin film formed on the first thin film of oxide superconductor material, after the second thin film is deposited on the first thin film of oxide superconductor material, a multi-layer structure formed of the first and second thin films is patterned so that a side surface of the first thin film is exposed. In this condition, the whole of the substrate is heated in an O2 atmosphere or in an O3 atmosphere so that oxygen is entrapped into the first thin film of oxide superconductor material. Thereafter, the patterned multi-layer structure is preferably covered with a protection coating.
Dans une méthode permettant de fabriquer un dispositif supraconducteur qui comporte une première pellicule mince d'un matériau supraconducteur à oxyde formée sur un substrat et une deuxième pellicule mince formée sur la première pellicule mince de matériau supraconducteur à oxyde, après que la deuxième pellicule mince soit déposée sur la première pellicule mince de matériau supraconducteur à oxyde, une structure multicouche formée de la première et de la deuxième pellicules minces est façonnée de façon qu'une surface latérale de la première pellicule mince soit à nu. L'ensemble du substrat est alors chauffé dans une atmosphère d'O2 ou d'O3 pour que de l'oxygène soit piégé dans la première pellicule mince de matériau supraconducteur à oxyde. Par la suite, la structure multicouche façonnée est de préférence garnie d'un revêtement protecteur.
Iiyama Michitomo
Saitoh Mitsuchika
Tanaka Sou
LandOfFree
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