G - Physics – 02 – B
Patent
G - Physics
02
B
G02B 6/122 (2006.01)
Patent
CA 2573930
The invention relates to a method for producing photonic crystals during which an inorganic photoresist is firstly provided that exhibits a phase change when irradiated with an energy greater than the electronic band gap of the photoresist. By irradiating the photoresist with a laser beam whose energy is less than the electronic band gap of the photoresist, whose intensity at the focal point, however, is high enough that non-linear effects occur there, a phase change nevertheless occurs in the photoresist. Afterwards, the irradiated photoresist is subjected to the action of an etching solution that preferably dissolves a phase of the photoresist and lastly, the developed photoresist is removed therefrom in the form of a photonic crystal. Inorganic photonic crystals produced according to the inventive method are suited for use in fully optical systems, circuits and components for optical telecommunications or computer systems.
La présente invention concerne un procédé pour produire des cristaux photoniques. Ce procédé consiste d'abord à préparer une résine photosensible inorganique qui présente un changement de phase lorsqu'elle est exposée à une énergie supérieure à la bande interdite électronique de la résine photosensible. Lorsque la résine photosensible est exposée à un faisceau laser dont l'énergie est pourtant inférieure à la bande interdite électronique de la résine photosensible, mais dont l'intensité dans le foyer est si élevée que des effets non linéaires y apparaissent, un changement de phase a cependant lieu dans la résine photosensible. La résine photosensible exposée est ensuite soumise à une solution d'attaque qui dissout de préférence une phase de la résine photosensible, puis la résine photosensible traitée est retirée en tant que cristal photonique. Les cristaux photoniques inorganiques produits selon ce procédé sont adaptés à des systèmes optiques complets, à des circuits et à des composants pour la télécommunication optique ou des systèmes informatiques.
Deubel Markus
Ozin Geoffrey A.
von Freymann Georg Ludwig Eberhard
Wegener Martin
Wong Sean Hang Edmound
Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh
Robic
University Of Toronto
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1754379