G - Physics – 01 – N
Patent
G - Physics
01
N
G01N 29/02 (2006.01) G01N 29/34 (2006.01)
Patent
CA 2388274
The invention relates to a method for producing surface acoustic wave sensors on the basis of surface acoustic wave components and to a corresponding surface acoustic wave sensor. The aim of the invention is to provide a method which allows the production of a homogeneous sorption polymer layer and which provides a sensor with a homogeneous sorption polymer layer. To this end, a polymeric parylene film with a thickness ranging between 20 and 200 nm is applied to the surface of the surface acoustic wave component by deposition from the gas phase, thereby rendering the in itself hydrophilic sensor surface hydrophobic. A hydrophobic sorption polymer layer is applied to the parylene film by spray-coating or drip-coating or by applying a hydrophilic sorption polymer layer to the parylene film by spray-coating or drip-coating once the parylene film is hydrophilized by plasma activation.
La présente invention concerne un procédé permettant de produire des détecteurs d'onde acoustique de surface, sur la base de composants d'onde acoustique de surface, ainsi qu'un détecteur d'onde acoustique de surface. L'objectif de cette invention est de fournir un procédé qui permet la production d'une couche polymère de sorption homogène et de préparer un détecteur pourvu d'une couche polymère de sorption homogène. Afin d'atteindre cet objectif, un film de parylène polymère, présentant une épaisseur comprise entre 20 et 200 nm, est appliqué sur la surface du composant d'onde acoustique de surface, par dépôt, à partir de la phase gazeuse, ce qui rend la surface de détecteur, hydrophile en elle-même, hydrophobe et une couche polymère de sorption hydrophobe est appliquée sur le film de parylène par revêtement par pulvérisation ou par revêtement par gouttes ou une couche polymère de sorption hydrophile est appliquée sur le film de parylène par revêtement par pulvérisation ou par revêtement par gouttes, une fois que le film de parylène est rendu hydrophile au moyen d'une activation par plasma.
Rapp Michael
Stahl Ullrich
Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh
Oldham Edward H.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1410338