G - Physics – 01 – J
Patent
G - Physics
01
J
G01J 5/10 (2006.01)
Patent
CA 2557903
The invention relates to a passive microbolometer (12), comprising a reflective screen (17) and a suspended membrane with the function of radiation absorber, thermometer and electrical connection. The membrane is supported by at least two anchor elements (15) fixed to a support substrate (16). The reflective screen (17) may be embodied by at least one layer (18) of metallic material with a thickness of the order of 500.ANG. to 2000.ANG.. The screen (17) is arranged beneath the membrane in electrical contact with the membrane absorber element (13) such as to reduce the area resistance of the unit made up of the screen (17) and the absorbing element (13) and to avoid the absorption of radiation by the latter.
Un microbolomètre passif (12) comporte un écran réfléchissant (17) et une membrane suspendue faisant fonction d'absorbeur du rayonnement, de thermomètre, et de connexions électriques. La membrane est portée par au moins deux éléments d'ancrage (15) fixés sur un substrat de support (16). L'écran réfléchissant (17) peut être constitué par au moins une couche (18) de matériau métallique, d'une épaisseur de l'ordre de 500.ANG. à 2000.ANG.. L'écran (17) est disposé sous la membrane, en contact électrique avec l'élément absorbeur (13) de la membrane, de manière à réduire la résistance par carré de l'ensemble constitué par l'écran (17) et l'élément absorbeur (13) et d'empêcher l'absorption du rayonnement par ce dernier.
Carle Laurent
Ouvrier-Buffet Jean-Louis
Vialle Claire
Vilain Michel
Commissariat A. L'energie Atomique
Robic
Ulis
LandOfFree
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