G - Physics – 01 – P
Patent
G - Physics
01
P
G01P 15/08 (2006.01) G01P 15/125 (2006.01) H01L 21/64 (2006.01) H01L 49/00 (2006.01)
Patent
CA 2211397
An accelerometer is fabricated by forming a proofmass and at least one associated hinge in a silicon substrate through a variety of etching and bonding processes. The processes entail ion implantation and formation of an oxide support layer (40, 42, 44) below the proofmass, integrally bonding two complementary proofmass (62) and substrate structures together, and then removing the oxide support layer (40, 42, 44) to leave the proofmass (62) supported by the hinge (67) within the body of silicon material (12). In a bond and etch back process, the wafer (532) is processed, sawed in half, and then bonded together again wherein the complementary halves are joined to obtain the finished accelerometer. During fabrication of the composite wafer (900), the wafer (900) is mounted to a centrifuge (902), and spun to remove etchant. The centrifuge (902) is constructed from a bar shape platform (904) that is rotated by a motor (906). Two compartments (910) are lined with filter paper (912, 914, 916) that contain the composite wafers (900), and are covered by lid (918).
On fabrique un accéléromètre en formant une masse étalon et au moins une charnière associée dans un substrat au silicium au moyen de plusieurs processus d'attaque chimique et de collage. Ces processus comprennent l'implantation d'ions et la formation d'une couche (40, 42, 44) de support oxydé sous la masse étalon, le collage intégral des deux structures complémentaires que sont la masse étalon (62) et le substrat, puis l'élimination de la couche (40, 42, 44) de support oxydé pour ne laisser que la masse étalon (62) supportée par la charnière (67) à l'intérieur du corps en silicium (12). Dans un processus de collage suivi d'une attaque chimique, on traite la tranche (532), on la scie en deux puis on recolle ensemble les deux moitiés complémentaires pour obtenir l'accéléromètre achevé. Pendant la fabrication de la tranche composite (900), on monte cette dernière (900) dans une centrifugeuse (902) et on la fait tourner pour éliminer l'agent d'attaque chimique. La centrifugeuse (902) est construite à partir d'une plate-forme (902) en forme de barre qu'un moteur (906) fait tourner. Deux compartiments (920), revêtus de papier filtre (912, 914, 916), contiennent les tranches composites (900) et sont refermés par un couvercle (918).
Litton Systems Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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